
全自主多面手:KMR iisy CR 净室机器人树立行业新标杆
面向半导体与电子行业的高效自动化解决方案:KUKA 推出的 KMR iisy CR 是一款多功能自主移动机器人 (AMR),提供 11 公斤和 15 公斤两种负载级别版本,专为净室智能应用而设计。该系列净室专用机型已通过弗劳恩霍夫研究所 (Fraunhofer Institut) 认证,并符合 DIN EN ISO 14644-1 标准规定的 ISO 净室 3 级要求。
2025年6月17日
面向半导体行业及高敏感度净室应用的自主移动机器人
KMR iisy CR 由移动平台和六轴机器人 LBR iisy CR组成,凭借其低颗粒排放特性及 ESD 认证,成为净室作业的理想移动机械臂解决方案。该设备安装快捷简便,可高效低成本地完成仓库内的拾取放置、物料搬运及码垛等作业 – 不仅适用于半导体生产,还广泛应用于电子工业的其他多种领域。

在认证过程中,弗劳恩霍夫研究所 (Fraunhofer Institut) 还确认了该自主移动机器人具备静电耗散能力和超低释气特性。因此证明其完全符合净室应用要求。该机器人可自由连接任意数量的工作站,彻底突破了传统物料运输方案的局限性。此外,它还能快速切换不同产品,使小批量生产同样具备成本竞争力。

前瞻性的软硬件协同解决方案
该平台采用久经验证的、基于人工智能的软件解决方案 KUKA.AMR Fleet 作为车队管理器,而机器人小臂则运行于 iiQKA.OS2 操作系统。这款可扩展、灵活适配的操作系统配备完整的虚拟机器人控制器 (Virtual Robot Controller、VRC),具备人工智能能力与网络安全韧性且符合新版 ISO 10218 标准要求,为未来数字化制造提供了理想的技术支撑。因此,不仅仅是硬件设备,其底层软件同样源自 KUKA 自主开发,这种“软硬一体”架构确保了系统组件间的完美协同。这些智能系统能够协助完成生产中的高难度作业任务。
得益于移动机器人:为精密生产实现最优成本效益比
机械臂六轴均采用自主研发的密封件,确保极低颗粒排放,完全符合 ISO 3 级净室标准要求。此外,该机器人采用与净室相容的材料制成,可将氨或碳氢化合物气体析出量降至最低。该机器人整体符合 DIN EN 61340 标准的导电性要求,可有效保护晶圆等敏感部件免受静电放电损伤。机器人完成组装后,将在净室环境下进行最终清洁处理,随后交付客户使用。通过采用净室设备专用包装,可确保运输过程中零颗粒污染。该机器人的表面材质具备耐常规清洁化学剂的特性。
为半导体生产树立新标杆
凭借灵活的改装能力,KMR iisy CR 无论是在大批量生产还是在小批量生产中都能创造显著效益,尤其适用于半导体与电子元器件的精密制造场景。这款净室移动机器人的典型应用场景包括:安全搬运 FOUP(Front Opening Unified Pods)、SMIF POD 以及开放式晶圆载具。该移动机器人可选配半导体行业标准化接口 E82 和 E84,可轻松集成至现有物料控制系统。