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全自主多面手:KMR iisy CR 净室机器人树立行业新标杆

面向半导体与电子行业的高效自动化解决方案:KUKA 推出的 KMR iisy CR 是一款多功能自主移动机器人 (AMR),提供 11 公斤和 15 公斤两种负载级别版本,专为净室智能应用而设计。该系列净室专用机型已通过弗劳恩霍夫研究所 (Fraunhofer Institut) 认证,并符合 DIN EN ISO 14644-1 标准规定的 ISO 净室 3 级要求。

2025年6月17日


面向半导体行业及高敏感度净室应用的自主移动机器人

KMR iisy CR 由移动平台六轴机器人 LBR iisy CR组成,凭借其低颗粒排放特性ESD 认证,成为净室作业的理想移动机械臂解决方案。该设备安装快捷简便,可高效低成本地完成仓库内的拾取放置物料搬运码垛等作业 – 不仅适用于半导体生产,还广泛应用于电子工业的其他多种领域。 

搭载于移动平台上的六轴机器人 LBR iisy CR 可高效完成拾取放置、物料搬运及码垛等作业任务。 

在认证过程中,弗劳恩霍夫研究所 (Fraunhofer Institut) 还确认了该自主移动机器人具备静电耗散能力超低释气特性。因此证明其完全符合净室应用要求。该机器人可自由连接任意数量的工作站,彻底突破了传统物料运输方案的局限性。此外,它还能快速切换不同产品,使小批量生产同样具备成本竞争力

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前瞻性的软硬件协同解决方案

该平台采用久经验证的、基于人工智能的软件解决方案 KUKA.AMR Fleet 作为车队管理器,而机器人小臂则运行于 iiQKA.OS2 操作系统。这款可扩展、灵活适配的操作系统配备完整的虚拟机器人控制器 (Virtual Robot Controller、VRC),具备人工智能能力与网络安全韧性符合新版 ISO 10218 标准要求,为未来数字化制造提供了理想的技术支撑。因此,不仅仅是硬件设备,其底层软件同样源自 KUKA 自主开发,这种“软硬一体”架构确保了系统组件间的完美协同。这些智能系统能够协助完成生产中的高难度作业任务。

KMR iisy CR 实际作业案例

KMR iisy CR 凭借其低颗粒排放特性及静电防护 (ESD) 认证,成为净室应用的理想之选。

集中式车队管理、灵活控制与可定制操作系统

自主移动机器人 (AMR) 可通过两种方式操控 - KUKA smartPAD pro 或 KUKA smartPLUG,后者允许用户经 USB 端口连接自有操作设备(如平板电脑)。使用 smartPAD pro 操控的实用优势:它可灵活地从集成支架中取出,为操作人员带来利人体工学便利,尤其对于拥有多台 AMR 的车队而言,更能节省成本,因为并非每台机器都需要自己的操作设备。

主要产品特性一览:

  • AMR 车队管理软件:该移动平台由基于人工智能的 KUKA.AMR Fleet 车队管理软件进行操控,可对异构 AMR 车队实现集中管理和实时监控。

  • 机器人小臂专用操作系统 iiQKA.OS2 :作为安全可靠的操作系统,可从容应对自动化的所有挑战 – 即使在净室环境中亦游刃有余。

  • 可自由选择的操作设备:可选择通过 KUKA smartPAD pro 或 KUKA smartPLUG 进行操控。

得益于移动机器人:为精密生产实现最优成本效益比

机械臂六轴均采用自主研发的密封件,确保极低颗粒排放完全符合 ISO 3 级净室标准要求。此外,该机器人采用与净室相容的材料制成,可将氨或碳氢化合物气体析出量降至最低。该机器人整体符合 DIN EN 61340 标准导电性要求,可有效保护晶圆等敏感部件免受静电放电损伤。机器人完成组装后,将在净室环境下进行最终清洁处理,随后交付客户使用。通过采用净室设备专用包装,可确保运输过程中零颗粒污染。该机器人的表面材质具备常规清洁化学剂的特性。

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为半导体生产树立新标杆

凭借灵活的改装能力KMR iisy CR 无论是在大批量生产还是在小批量生产中都能创造显著效益,尤其适用于半导体与电子元器件的精密制造场景。这款净室移动机器人的典型应用场景包括:安全搬运 FOUP(Front Opening Unified Pods)、SMIF POD 以及开放式晶圆载具。该移动机器人可选配半导体行业标准化接口 E82 和 E84,可轻松集成现有物料控制系统